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大连力迪流体操控技能有限公司作为thyraconts署理,诚挚为各位供给德国thyracont全系列产品。
德国Thyracont成立于1970年,50余年专心真空丈量技能创新,以高精度、耐用性及智能化为中心竞争力。其产品交融传统工艺与现代技能,例如创始的微型Pirani螺旋丝和宽量程组合传感器,已成为行业标准。
磁控溅射镀膜设备和离子镀膜设备所需的超高真空度规模,thyracont的VSM冷阴极和VSH热阴极复合线Pa) 皮拉尼/冷阴极
磁控溅射是一种物理气相堆积技能,运用磁场和电场束缚电子,进步溅射功率。磁控溅射的作业进程,比方氩离子轰击靶材,溅射原子堆积到基片上构成薄膜。其间,在线Pa)量级)中通入氩气。
VSH 1000到5*E-10mbar(5*E-8Pa) 皮拉尼/热阴极
离子镀膜设备是根据物理气相堆积(PVD)技能的高精度外表处理设备,经过等离子体环境中的离子轰击完成膜层堆积,大规模的应用于东西、装修、电子、光学等范畴。
:晶圆封装需5×10⁻⁷ mbar(≈5×10⁻⁵ Pa),光学镀膜需1×10⁻⁶ Pa
:纳米级膜厚精度(±1%),防止气体吸附导致的光学损耗通常会运用皮拉尼热阴极复合规
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